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    台阶仪

    KOSAKA ET200

    设备简介

     日本进口Kosaka公司制造的台阶仪设备,采用直动式传感器,测量精度高,无需线性补偿,可精确测量FPD基板、硅晶片、硬盘等表面微细形状、台阶和粗糙度等.

    基本技术参数

    Basic technical parameters

     1,最大工件尺寸: 160mm.

     2,最大工件厚度: 50mm.

     3.传感器分解能: 0.1nm.

     4, X轴最大测长: 100mm.

     5, X轴移动真直度: 0.2μm/100mm 0.005um/5mm

     6,测定力: 10uN~500uN

     7,再现性: 1∂= 1nm(全量程), 1um以下台阶重现性可达0.2nm以下

    

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