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    光谱椭偏仪

    ELLIPSOMETER

    设备简介

     先进的光谱椭偏仪,采用J.A.Woollam公司专利的旋转补偿技术,可以对PSI Delta进行360°无死角测量。采用CCD阵列探测器实现快速测量、全光谱测量。可以表征半导体、有机材料、金属等的光学常数和膜厚,应用广泛.

    基本技术参数

    Basic technical parameters

     1,光谱范围370nm-1000nm.

     2,变角范围45°-90°连续可变角,计算机自动控制

     3, Z轴范围: 20mm,计算机自动控制.

     4,测量时间:全光谱测量1-5秒.

     5.微光斑:可将光斑缩小至200um左右.

    

    Copyright © 2018 宁波卢米蓝新材料有限公司    浙ICP备18049446号    技术支持:穿石科技